水母网4月25日讯（通讯员 赛家豪 杨振华）在细微处下功夫，愿意精雕细琢，不放过每个初看不起眼的发展机遇，是烟台黄渤海新区不断向上向强的关键密码。MEMS微机电系统在我们的生活中已无处不在，这一产业发展的轨迹，正如这座城的兴起之路——同样是从近乎空白的零基础起步，短时间内快速起势、飞速发展。

十年磨一剑，新区依托烟台光电传感产业园和山东省微纳传感技术与智能应用制造业创新中心，全力推进MEMS产业向“高端化、链条化、集群化”跃升，十余年间培育出睿创微纳、明石微纳、台芯电子等20多家骨干企业，3家上市公司；2022年实现MEMS及其关联产值近70亿元、同比增长20%，正崛起成为中国北方最具特色的MEMS产业高地。

双轮驱动 双向发力

放大旗舰型企业引领 精准打造产业载体

头部企业引领，往往能有效带动“开局起跳”。因而招引、培育旗舰型企业，成为新区MEMS产业发展起步的关键。

2009年，烟台睿创微纳公司落地，新区将其作为重点培育对象，实施全生命周期保姆式服务，实现“当年招商、当年签约、当年注册、当年开工”。2011年，睿创微纳非制冷红外项目入选省首批战略性新兴产业名录，填补国内空白；2019年，完成科创板上市，为全国首批、全省首家；2021年，自主研发8微米非制冷红外探测器等产品，打破国外垄断……

单打独斗不如抱团发展。新区抓住光电传感产业列为全市16条重点产业链的契机，发挥链长制优势，以全省首家科创板企业睿创微纳为龙头布局烟台光电传感产业园，以点带面、崛起高地。该产业园总投资400亿元，重点聚集红外芯片、器件、模组、终端整机等企业项目，加速产业链核心技术突破和成果转化。

“目前，园区已入驻齐新半导体、睿瓷新材料、珈港电子、奇创芯源、芯扬聚阵等产业链优势企业，未来5年将聚集上下游企业150余家，10年内超过400家，年产值突破700亿元。”项目负责人介绍。

除睿创微纳领建烟台光电传感产业园外，新区还引入头部资源明石资本及院士专家打造山东省微纳传感技术与智能应用制造业创新中心，以“双引擎”驱动MEMS产业率先破局、快速起势。

2019年，山东国创微纳制造研究院有限公司成立，组建山东省微纳传感技术与智能应用创新联盟，汇集60多家国内头部企业，打造全省首个省级微纳制造业创新中心——“山东省微纳传感技术与智能应用制造业创新中心”，重点围绕MEMS传感器产业开展关键核心技术研发，推进科技成果转化和产业化。

在强大研发团队支撑下，中心深度开展产学研合作，创新成果呈井喷式涌现。突破国家重点研发计划“工业测控高精度硅基压力传感器关键技术”等9项关键共性技术；“500Pa微压传感器”等技术将实现进口替代，医用微差压传感器芯片、氧化锆氧传感器芯体、石墨烯基气体传感器芯片等领域技术水平走在全国前列；建成3万平方米MEMS传感器封装测试线，正加快建设山东微纳传感制造业创新中心产业基地。    

“双轮驱动”加持下，新区将聚焦MEMS重点领域和关键技术，积极构建“1+2+3”创新体系，全力打造产业聚集度最高、科技创新能力最强、产业发展生态最优的微纳制造产业高地，力争2-3年内完成国家级制造业创新中心的申报，5年内集聚相关企业200家以上，产值突破500亿元。

沿链布点 多点联动

培育梯度发展矩阵 持续拓展产业链条

第二步，聚优势，站在全产业链高度谋篇布局。

新区从材料及设备、设计研发、生产制造、封测、行业应用等上中下游各个关键领域，招引和培育骨干企业、重点项目，全面实施建链延链补链强链，打造完整MEMS产业链条。

看产业链上游——聚焦MEMS产业前段高端原材料供给，新区积极培育和引进中节能万润、德邦科技、希尔德、一诺电子、万华化学电子材料产业园等一批骨干企业和项目，光刻胶、电子气体乙硅烷等产品打破国外垄断。目前，万华电子材料产业园一期项目产线已贯通，年可实现CMP Pad 10万片、 CMP Slurry 3000吨。

看产业链中游——除睿创微纳、明石微纳外，培育壮大台芯电子、联特优测等骨干企业，不断巩固和拓展设计研发、制造、封测等环节优势，增强产业核心竞争力。其中，台芯功率半导体产业园规划布局IGBT模块研发生产、芯片设计、封装、检测等功能板块，建设全国首个第三代功率半导体全链条IDM园区，目前一期已建成投用，二期正在规划设计，全部建成后年可实现产值150亿元。

看产业链下游——着力丰富MEMS技术应用场景和产品需求，聚集形成了以富士康为龙头引领，艾睿光电、国兴智能、力高新能源、魔技纳米、华创智能装备等骨干企业为支撑的多维市场体系，在工业机器人、消费电子、汽车等领域发展迅猛、前景广阔。今年，富士康园区计划加大“电动车、数位健康、机器人”三大新兴产业投入，抢占MEMS技术应用高地。

这种上中下游齐发力，共同助力行业快速发展的态势，昭示着新区MEMS产业发展，已经进入了最适合自己的节奏。

垂直整合 横向协同

构建完备产业生态圈 接续壮大产业集群

第三步，谋长远，打造更加完备的产业生态圈。

新区全面推进产业链垂直整合、创新链价值链横向协同，崛起技术领先、带动力强、集约集聚的五百亿级MEMS产业集群。

想要蓄足产业发展的“活水”。新区持续开展以商招商、专题招商、驻外招商和走出去招商，放大现有产业园区平台优势，聚集招引上下游关联企业，形成较为完整的产业区块，提高产业链稳定性和抗风险能力。瞄准上游高端材料、中游传感器产业化、下游新应用场景，精准开展产业链“靶向”招商，力争2023年引进硅基雷达芯片、AI声学监测产业化等产业链企业10个以上。

不仅如此，一个个相关主题大型赛事和活动纷纷落地新区。中国（烟台）国际微纳制造大会、全国机器人大赛、招商合作发展大会等高端会展来了，企业家论坛、八角湾学术论坛、先进技术融合发展高端论坛等活动高频次开展，产业发展氛围日渐浓厚。

以开放姿态吸引企业落户，更要以优质服务保障企业发展。为持续优化产业生态，推动更多产业要素向产业链聚集，新区多管齐下——

成立科技创新生态联盟，发挥山东省微纳传感技术与智能应用创新创业共同体、特色半导体产业专家协同创新中心等作用，促进产业链资源共享与整合，构建优势互补、资源共享、合作共赢的科技创新生态圈；鼓励和引导产学研合作，依托哈工程研究院、黄渤海实验室、山东产业技术研究院（烟台）等平台资源，集聚和引进高端人才及技术团队，为企业创新发展提供技术和人才支撑；加大企业培育力度，广泛开展项目路演、技术交流、政策解读等活动，推动企业提质扩量增效，助推产业链高质量发展。

除了于“外在”处下功夫，回归MEMS本身，作为集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统，要突破发展瓶颈，亟需协同创新。

新区大力实施“产业链科技协同创新工程”，对每个纳入协同创新工程的项目给予一定资金支持，促进产业链上下游企业协同创新，共同攻坚关键核心技术和产品产业化应用难题。发挥西安交大智能传感技术与系统研究院、明石微纳研究院、光电传感研究院、华电功率半导体研究院等“1+5+N”创新策源平台作用，加快建设面向全国的智能传感器公共服务平台、三大关键共性技术和成果转化平台，构建产业链创新策源体系，为研究院所、企业提供研发和中试服务，提升产业核心竞争力。

十余年探索沉淀，逐渐擦亮产业品牌。前不久，赛迪顾问发布了《2023中国MEMS（微电子机械系统）产业发展与十大高质量园区报告》，对国内MEMS传感器相关园区进行评价。烟台黄渤海新区（烟台开发区）作为山东省唯一入选的国家级开发区，位列榜单第9位、国家级开发区第4位。

“以入选十大高质量园区为契机，我们将加速推进制造业高质量发展三年行动计划、企业倍增计划、科技项目立项实施等政策落地，推动MEMS行业提质扩量增效，不断壮大产业链‘雁阵型’企业梯队。”黄渤海新区经发科创局有关负责人介绍。

蓝图清晰绘就，推进步步为营。此一程，“MEMS”终将奔赴“YYDS”……